无色或白色菱形 / 针状结晶，无臭；相对密度 1.788。不易潮解，但易风化失去结晶水；易溶于水、稀酸，难溶于氢氟酸，不溶于乙醇；水溶液呈弱酸性。80℃以上脱水分解，释放四氟化硅气体；遇碱反应生成氟化物与二氧化硅。粉尘刺激皮肤、眼黏膜与呼吸道，有毒。

无色棱形结晶或白色结晶粉末，相对密度 2.104；易溶于水，可溶于无机酸，不溶于乙醇；1% 水溶液 pH≈3.2，呈弱酸性。加热至 100℃分解，释放四氟化硅气体，生成氟化锌与水。有吸湿性，粉尘刺激皮肤、眼黏膜与呼吸道，有毒。

白色四方结晶或粉末，无臭；密度 2.662 g/cm³。几乎不溶于冷水，热水中会分解；可缓慢溶于盐酸等强酸，不溶于乙醇、丙酮。常温稳定，高温（＞300℃）分解，释放四氟化硅有毒烟气，生成氟化钙、二氧化硅；遇碱发生分解反应。

白色结晶粉末或颗粒，无臭无味，有吸湿性；相对密度 2.68。微溶于冷水，热水中分解，不溶于乙醇；冷水溶液接近中性，受热、遇碱会分解，300℃以上高温分解为氟化钠和四氟化硅气体。粉尘对呼吸道、眼睛、皮肤具有刺激性，中等毒性。

白色结晶粉末，无臭无味，微酸性，有吸湿性。微溶于冷水，溶解度随温度升高略有上升；可溶于盐酸，不溶于乙醇。热水条件下水解生成氟化钾、氟化氢与硅酸；高温灼烧分解为氟化钾和四氟化硅气体。密度 2.665 g/cm³，属于有毒物质，粉尘刺激呼吸道、眼部与皮肤